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操作工小哥也听出了陈彦霖的语气不太好,但还是辩解道:“他们是设备厂商啊!而且他们说了只用一小会的......”
在陈彦霖冷淡的眼神下,操作工小哥的声音越说越小,到了后面自己也说不下去了。
陈彦霖看了他一眼之后,就冷声吩咐道:“去把你们主管叫来。”
陈彦霖说完也不管操作工小哥的哀求,就直接走上前,对着这些ASNML公司过来的工程师们开口问道:“你们在做什么?”
陈彦霖说的是英文,ASNML公司的工程师们一听到陈彦霖开口,就略有点紧张了起来。
陈彦霖透过人群,看向了他们背后正在工作的设备。
因为戴着口罩,全身被无尘服包裹的原因,这些工程师们也只能看到陈彦霖的眼睛。
虽然不认识,但是他们也从陈彦霖挺拔的身姿和淡然的眼神中,看出来这不是一个普通的操作工了。
也就停顿了几秒,对面的工程师中就有一人站了出来,对陈彦霖自我介绍道:“我们是ASNML公司的工程师,我们这次是过来安装调试EUV光刻机的。”
ASNML公司的工程师见陈彦霖没有接话,只能继续说道:“现在EUV光刻机还在入厂静置,所以我们先过来帮你们检测一下这两台DUV光刻机的性能。”
这个工程师的话音刚落下,陈彦霖还没来得及开口,就见远处又过来了一个人,他的手里正拿着一组晶圆走了过来。
陈彦霖起初以为这是现场的生产人员,正想提示他的操作动作不标准,结果就看到这个人朝着ASNML公司的工程师队伍走去了。
这个人还边走边说道:“这台设备的制程和精准度,确实高了许多。”
男人说着就把手上的晶圆递给了其他工程师,陈彦霖见状也走上前,伸手接过了一块晶圆看了起来。
果然这些晶圆上面的图形都是ASNML公司专门用来检测光刻机性能的图谱。
而且这些晶圆不仅做完了光刻这道工序了,后面的烘烤、显影,还有刻蚀工序都已经做完了。
陈彦霖看了一眼晶圆正面的边缘处的晶圆批号和编号,不禁眼神冷了下来。
在芯片的生产过程中,为了方便在后面的生产、测试和封装工艺中追踪晶圆,芯片厂会在晶圆投料后,用激光在晶圆的正面的边缘处刻上晶圆的批号和编号。
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